電子級超純水標準
Electronic grade water（GB/T11446.1997）
電子級水的技術指標應符合表2.1的規定。
表2.1、電子級水的技術指標
級別 指標
| 中華人民共和國電子級水國家標準（GB/T11446.1997） | ASTM電子級水 (E-I)標準 (1993年) |
EW-I | EW-II | EW-III | EW-IV | 設計參考值 |
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電阻率 MΩNaN(25℃) | 18以上 (95%時間) 不低於17 | 15 (95%時間)不低於13 | 12.0 | 0.5 | 10以上 (95%時間) 不低於5 | 18以上(90%時間)不低於 17 |
全矽,最大μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 | ≤20.0 | 5(SIO2) |
>1μm微粒數, 最大值,個/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 | 10 | 0.1 |
細菌個數, 最大值個/ mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 | ≤<10 | 1/1000 |
銅最大值, μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 | ≤2 | 1 |
鋅最大值, μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 | ≤5 | 0.5 |
鎳最大值, μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 | ≤2 | 0.1 |
鈉最大值, μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 | ≤5 | 0.5 |
鉀最大值, μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 | ≤5 | 2 |
氯最大值, μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 | ≤10 | 1 |
硝酸根, 最大值, μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | ≤5 | 1 |
磷酸根, 最大值, μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | ≤5 | 1 |
硫酸根, 最大值, μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 | ≤5 | 1 |
總有機碳, 最大值, μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 | ≤200 | 1 |
細菌內毒素 (E.U.) |
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| 0.03 |
備注：電阻率為在線檢測值；
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